Методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического преобразователя угловых скоростей

Владимир Игоревич Бусурин
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)

Ань Туан Фам
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)

Вадим Владимирович Коробков
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)

Владимир Михайлович Медведев
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет); АО «Государственный научно-исследовательский институт приборостроения»

Максим Александрович Жеглов
АО «Государственный научно-исследовательский институт приборостроения»


Аннотация


Предложена методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей, построенного на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). Разработан алгоритм и программное обеспечение, позволяющие производить расчет основных параметров МОЭМ-преобразователя при обеспечении заданных технических требований.


Ключевые слова


МОЭМ; угловая скорость; преобразователь; методика; характеристики; оптический туннельный эффект

Полный текст:

PDF

Литература


Kostsov, E.G. State and Prospects of Micro- and Nanoelectromechanics / E.G. Kostsov // Optoelectron., Instrum. Data Process. – 2009. – Vol. 45 (3). – P. 189–226.

Дмитриев, С.А. Волоконно-оптическая техника: современное состояние и новые перспективы / С.А. Дмитриев, Н.Н. Слепов. – М.: Техносфера, 2010. – 608 с.

Jacopo, I. Reliability of MEMS: A perspective on failure mechanisms, improvement solutions and best practices at development level / I. Jacopo // Displays. – 2015. – Vol. 37. – P. 62–71. DOI: 10.1016/j.displa.2014.08.003

Ghodssi, R. MEMS materials and processes handbook / R. Ghodssi, P. Lin. – Springer, USA, 2011. – 1188 p. DOI: 10.1007/978-0-387-47318-5

Трехосевой микро-опто-электро-механический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта / В.И. Бусурин, А.Т. Фам, М.А. Жеглов, В.М. Медведев // Автометрия. – 2017. – Т. 53, № 6. – С. 33–41. DOI: 10.15372/aut20170604

Шарапов, В.М. Пьезоэлектрические датчики / В.М. Шарапов, М.П. Мусиенко, Е.В. Шарапова. – М.: Техносфера, 2006. – 632 с.

Якушенко, Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов / Ю.Г. Якушенко. – М.: Машиностроение, 1989. – 360 с.

Grattan, K.T.V. Fiber optic sensor technology: an overview / K.T.V. Grattan, T. Sun // Sensors and Actuators A: Physical. – 2000. – Vol. 82, iss. 1-3. – P. 40–61. DOI: 10.1007/978-1-4757-6081-1_1

Бусурин, В.И. Волоконно-оптические датчики: Физические основы, вопросы расчета и применения / В.И. Бусурин, Ю.Р. Носов. – М.: Энергоавтомиздат, 1990. – 256 с.

Борн, М. Основы оптики: пер. c англ. / М. Борн, Э. Вольф. – М.: Наука, 1983. – 721 с.

Удд, Э. Волоконно-оптические датчики: пер. c англ. / Э. Удд. – М.: Техносфера, 2008. – 520 с.

Busurin, V.I. Micro-opto-elctro-mechanical angular velocity transducer based on the optical tunneling effect / V.I. Busurin, А.Т. Pham // Optoelectron., Instrum. Data Process. – 2016. – Vol. 52 (2). – P. 210–215. DOI: 10.3103/s8756699016020151

Бусурин, В.И. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы / В.И. Бусурин, Б.Г. Горшков, В.В. Коробков. – М.: МАИ, 2012. – 168 с.

Распопов, В.Я. Микромеханические приборы / В.Я. Распопов. – М.: Машиностроение, 2007. – 400 с.

Тимошенко, С.П. Колебания в инженерном деле: пер. c англ. / С.П. Тимошенко. – М.: КомКнига, 2007. – 440 с.

Liu, C. Foundations of MEMS / C. Liu. – 2nd edition. – Prentice Hall, USA, 2011. – 576 p.

Bose, A. Modern inertial sensors and systems / A. Bose, K.N. Bhat, P. Banerjee. – Prentice-Hall of India Pvt. Ltd, 2014. – 425 p.

Jeroen, D.H. Modeling and calibration of inertial and vision sensors / D.H. Jeroen, B.S. Thomas, G. Fredrik // The International Journal of Robotics Research. – 2010. – Vol. 29, iss. 2-3. – P. 231– 244. DOI: 10.1177/0278364909356812




DOI: http://dx.doi.org/10.14529/ctcr180209

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.