The Method for Calculating of Single-Axis Micro-Opto-Electro-Mechanical Angular Velocity Transducer
DOI:
https://doi.org/10.14529/ctcr180209Keywords:
MOEM, angular velocity, transducer, method, characteristics, optical tunneling effectAbstract
The method for calculating of single-axis micro-opto-elctro-mechanical (MOEM) angular velocity transducer based on the optical tunneling effect (OTE) is conceived. This paper is created the algorithm and the software development that allows calculating transducer’s basic parameters in providing of defined technical requirements.
References
Kostsov, E.G. State and Prospects of Micro- and Nanoelectromechanics / E.G. Kostsov // Optoelectron., Instrum. Data Process. – 2009. – Vol. 45 (3). – P. 189–226.
Дмитриев, С.А. Волоконно-оптическая техника: современное состояние и новые перспективы / С.А. Дмитриев, Н.Н. Слепов. – М.: Техносфера, 2010. – 608 с.
Jacopo, I. Reliability of MEMS: A perspective on failure mechanisms, improvement solutions and best practices at development level / I. Jacopo // Displays. – 2015. – Vol. 37. – P. 62–71. DOI: 10.1016/j.displa.2014.08.003
Ghodssi, R. MEMS materials and processes handbook / R. Ghodssi, P. Lin. – Springer, USA, 2011. – 1188 p. DOI: 10.1007/978-0-387-47318-5
Трехосевой микро-опто-электро-механический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта / В.И. Бусурин, А.Т. Фам, М.А. Жеглов, В.М. Медведев // Автометрия. – 2017. – Т. 53, № 6. – С. 33–41. DOI: 10.15372/aut20170604
Шарапов, В.М. Пьезоэлектрические датчики / В.М. Шарапов, М.П. Мусиенко, Е.В. Шарапова. – М.: Техносфера, 2006. – 632 с.
Якушенко, Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов / Ю.Г. Якушенко. – М.: Машиностроение, 1989. – 360 с.
Grattan, K.T.V. Fiber optic sensor technology: an overview / K.T.V. Grattan, T. Sun // Sensors and Actuators A: Physical. – 2000. – Vol. 82, iss. 1-3. – P. 40–61. DOI: 10.1007/978-1-4757-6081-1_1
Бусурин, В.И. Волоконно-оптические датчики: Физические основы, вопросы расчета и применения / В.И. Бусурин, Ю.Р. Носов. – М.: Энергоавтомиздат, 1990. – 256 с.
Борн, М. Основы оптики: пер. c англ. / М. Борн, Э. Вольф. – М.: Наука, 1983. – 721 с.
Удд, Э. Волоконно-оптические датчики: пер. c англ. / Э. Удд. – М.: Техносфера, 2008. – 520 с.
Busurin, V.I. Micro-opto-elctro-mechanical angular velocity transducer based on the optical tunneling effect / V.I. Busurin, А.Т. Pham // Optoelectron., Instrum. Data Process. – 2016. – Vol. 52 (2). – P. 210–215. DOI: 10.3103/s8756699016020151
Бусурин, В.И. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы / В.И. Бусурин, Б.Г. Горшков, В.В. Коробков. – М.: МАИ, 2012. – 168 с.
Распопов, В.Я. Микромеханические приборы / В.Я. Распопов. – М.: Машиностроение, 2007. – 400 с.
Тимошенко, С.П. Колебания в инженерном деле: пер. c англ. / С.П. Тимошенко. – М.: КомКнига, 2007. – 440 с.
Liu, C. Foundations of MEMS / C. Liu. – 2nd edition. – Prentice Hall, USA, 2011. – 576 p.
Bose, A. Modern inertial sensors and systems / A. Bose, K.N. Bhat, P. Banerjee. – Prentice-Hall of India Pvt. Ltd, 2014. – 425 p.
Jeroen, D.H. Modeling and calibration of inertial and vision sensors / D.H. Jeroen, B.S. Thomas, G. Fredrik // The International Journal of Robotics Research. – 2010. – Vol. 29, iss. 2-3. – P. 231– 244. DOI: 10.1177/0278364909356812
