Термодинамический анализ условий образования карбида кремния в сложных металлических расплавах

Е. А. Трофимов, А. Ю. Габова

Аннотация


Системы вида Mе–Si–C, включающие металлический расплав, являются основой перспективной методики выращивания монокристаллов карбида кремния. Потребности развития такого рода технологий диктуют необходимость поиска составов металла с относительно низкими температурами плавления, которые при этом сохраняли бы способность растворять кремний и углерод в существенных количествах. Усложнение составов металлического расплава на основе элементов подгруппы железа позволяет достигать требуемого эффекта. Для поиска новых составов относительно легкоплавких металлических расплавов – катализаторов роста кристаллов карбида кремния – целесообразно использование проекций поверхностей ликвидуса систем Fе–(…)–Si–C.

Целью настоящей работы стало проведение термодинамического моделирования систем вида Fе–(…)–Si–C для определения возможностей понижения температуры металлического расплава, равновесного с карбидом кремния.

Для термодинамического моделирования использован блок Phase Diagram программного пакета FactSage (версия 6.4) производства Thermfact (Канада) и GTT Technologies (Германия).

В ходе настоящей работы рассчитаны координаты поверхностей ликвидуса для систем Fe–Ni–Si–C, Fe–Co–Si–C, Fe–Mn–Si–C и Fe–Ni–Co–Mn–Si–C.

Представленные в форме поверхностей ликвидуса фазовые диаграммы позволяют не только определить состав металла с минимальной температурой плавления, но и наглядно представить диапазоны концентраций и температур, для которых равновесным продуктом взаимодействия компонентов металла будет являться SiC. Это особенно полезно с точки зрения выбора режима процесса выращивания кристаллов карбида кремния.


Ключевые слова


карбид кремния; синтез в металлическом расплаве; железо; никель; кобальт; марганец

Полный текст:

PDF

Литература


Kawanishi, S. Equilibrium Phase Relationship between SiC and a Liquid Phase in the Fe–Si–C System at 1523–1723 K / S. Kawanishi, T. Yoshikawa, T. Tanaka // Materials Transactions. – 2009. – Vol. 50, no 4. – Р. 806–813. doi: 10.2320/matertrans.MRA2008404.

Yoshikawa, T. Fundamental study for solvent growth of silicon carbide utilizing Fe-Si melt / T. Yoshikawa, S. Kawanishi, T. Tanaka // Journal of Physics: Conference Series. 165 (2009) 012022. IP address: 5.79.141.174. doi: 10.1088/1742-6596/ 165/1/012022.

Трофимов, Е.А. Термодинамический анализ условий образования карбида кремния в металлическом расплаве системы Fe–Ni–Si–C / Е.А. Трофимов, С.В. Рябошук // Современные проблемы электрометаллургии стали: материалы XV Междунар. науч. конф. Ч. 1. – Челябинск: Издат. центр ЮУрГУ, 2013. – С. 42–43.

Olesinski, R.W. C–Si (Carbon–Silicon) / R.W. Olesinski, G.J. Abbaschian // Binary Alloy Phase Diagrams, Second Edition, Ed. T.B. Massalski, ASM International, Materials Park, Ohio. – 1990. – Vol. 1. – Р. 882–883.

Scace, R.I. The Si–C and Ge–C phase diagrams / R.I. Scace, G.A. Slack // Silicon Carbide, High Temperature Semiconductor, Proceedings of the Conference, Boston, 1960. – Р. 24–28.

Ishida, K. Co–Si (Cobalt–Silicon) / K. Ishida, T. Nishizawa // Binary Alloy Phase Diagrams, Second Edition, Ed. T.B. Massalski, ASM International, Materials Park, Ohio. – 1990. – Vol. 2. – Р. 1235–1239.

Application of MTDATA to the Modeling of Multicomponent Equilibria / R.H. Davies, A.T. Dinsdale, T.G. Chart et al. // Materials Chemistry at High Temperatures. Vol. 1. Characterization / Ed. by W. Hastie. – Springer Science + Business Media New York, 1990. – P. 251–262. doi: 10.1007/978-1-4612-0481-7_19.

Gokhale, A.B. Mn–Si (Manganese–Silicon) / A.B. Gokhale, G.J. Abbaschian // Binary Alloy Phase Diagrams, Second Edition, Ed. T.B. Massalski, ASM International, Materials Park, Ohio. – 1990. – Vol. 3. – Р. 2602–2604.

Kaufman, L. Coupled phase diagrams and thermochemical data for transition metal binary systems-III / L. Kaufman // Calphad: Computer Coupling of Phase Diagrams and Thermochemistry. – 1978. – Vol. 2. – Р. 117–146. doi: 10.1016/0364-5916(78)90031-7.

Gokcen, N.A. Mn–Ni (Manganese–Nickel) / N.A. Gokcen // Binary Alloy Phase Diagrams, Second Edition, Ed. T.B. Massalski, ASM International, Materials Park, Ohio. – 1990. – Vol. 3. – Р. 2580–2583.


Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.