Методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического преобразователя угловых скоростей

Владимир Игоревич Бусурин, Ань Туан Фам, Вадим Владимирович Коробков, Владимир Михайлович Медведев, Максим Александрович Жеглов

Аннотация


Предложена методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей, построенного на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). Разработан алгоритм и программное обеспечение, позволяющие производить расчет основных параметров МОЭМ-преобразователя при обеспечении заданных технических требований.


Ключевые слова


МОЭМ; угловая скорость; преобразователь; методика; характеристики; оптический туннельный эффект

Полный текст:

PDF

Литература


Kostsov, E.G. State and Prospects of Micro- and Nanoelectromechanics / E.G. Kostsov // Optoelectron., Instrum. Data Process. – 2009. – Vol. 45 (3). – P. 189–226.

Дмитриев, С.А. Волоконно-оптическая техника: современное состояние и новые перспективы / С.А. Дмитриев, Н.Н. Слепов. – М.: Техносфера, 2010. – 608 с.

Jacopo, I. Reliability of MEMS: A perspective on failure mechanisms, improvement solutions and best practices at development level / I. Jacopo // Displays. – 2015. – Vol. 37. – P. 62–71. DOI: 10.1016/j.displa.2014.08.003

Ghodssi, R. MEMS materials and processes handbook / R. Ghodssi, P. Lin. – Springer, USA, 2011. – 1188 p. DOI: 10.1007/978-0-387-47318-5

Трехосевой микро-опто-электро-механический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта / В.И. Бусурин, А.Т. Фам, М.А. Жеглов, В.М. Медведев // Автометрия. – 2017. – Т. 53, № 6. – С. 33–41. DOI: 10.15372/aut20170604

Шарапов, В.М. Пьезоэлектрические датчики / В.М. Шарапов, М.П. Мусиенко, Е.В. Шарапова. – М.: Техносфера, 2006. – 632 с.

Якушенко, Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов / Ю.Г. Якушенко. – М.: Машиностроение, 1989. – 360 с.

Grattan, K.T.V. Fiber optic sensor technology: an overview / K.T.V. Grattan, T. Sun // Sensors and Actuators A: Physical. – 2000. – Vol. 82, iss. 1-3. – P. 40–61. DOI: 10.1007/978-1-4757-6081-1_1

Бусурин, В.И. Волоконно-оптические датчики: Физические основы, вопросы расчета и применения / В.И. Бусурин, Ю.Р. Носов. – М.: Энергоавтомиздат, 1990. – 256 с.

Борн, М. Основы оптики: пер. c англ. / М. Борн, Э. Вольф. – М.: Наука, 1983. – 721 с.

Удд, Э. Волоконно-оптические датчики: пер. c англ. / Э. Удд. – М.: Техносфера, 2008. – 520 с.

Busurin, V.I. Micro-opto-elctro-mechanical angular velocity transducer based on the optical tunneling effect / V.I. Busurin, А.Т. Pham // Optoelectron., Instrum. Data Process. – 2016. – Vol. 52 (2). – P. 210–215. DOI: 10.3103/s8756699016020151

Бусурин, В.И. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы / В.И. Бусурин, Б.Г. Горшков, В.В. Коробков. – М.: МАИ, 2012. – 168 с.

Распопов, В.Я. Микромеханические приборы / В.Я. Распопов. – М.: Машиностроение, 2007. – 400 с.

Тимошенко, С.П. Колебания в инженерном деле: пер. c англ. / С.П. Тимошенко. – М.: КомКнига, 2007. – 440 с.

Liu, C. Foundations of MEMS / C. Liu. – 2nd edition. – Prentice Hall, USA, 2011. – 576 p.

Bose, A. Modern inertial sensors and systems / A. Bose, K.N. Bhat, P. Banerjee. – Prentice-Hall of India Pvt. Ltd, 2014. – 425 p.

Jeroen, D.H. Modeling and calibration of inertial and vision sensors / D.H. Jeroen, B.S. Thomas, G. Fredrik // The International Journal of Robotics Research. – 2010. – Vol. 29, iss. 2-3. – P. 231– 244. DOI: 10.1177/0278364909356812




DOI: http://dx.doi.org/10.14529/ctcr180209

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.